ILTベースステーションでの仮想ステーションの操作

1つのILT Base Stationは、最大6つのツールに接続できます。これらのツールは、次のいずれかに接続できます:Power Focus 6000および/またはPower Focus 4000および/または統合コントローラーを備えたICBまたはITBツール。これらの接続は、ILT Base Stationで作成する必要がある仮想ステーションを介して有効になります。。

ILT Base Station仮想ステーションは次に接続する必要があります: