在 ILT Base Station 使用虚拟站点

一个 ILT Base Station 最多可连接 6 个工具。这些工具可连接到 Power Focus 6000 和/或 Power Focus 4000 和/或带有集成控制器的 ICB 或 ITB 工具。这些连接通过需要在 ILT Base Station 中创建的虚拟站点启用。

每个 ILT Base Station 虚拟站点需连接到: